基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及方法

ZL201410412326.5，中国发明专利，2017.11.28授权

摘要：一种基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及对应测量方法，利用涡流传感器探测线圈的阻抗在电阻‑电感平面中的对应点在不同探测距离下形成的提离线的斜率与被测导电膜厚度的关系来实现厚度测量。所述导电膜厚度测量系统包括：带有探测线圈的电涡流传感器探头、阻抗测量电路、实现探头上下移动的微型致动器以及控制测量过程和厚度结果输出的控制器。本发明方法简单高效，可以非接触地准确测量出导电膜的厚度，测量结果几乎不受探测距离的影响，厚度测量范围从几十nm到几mm，可以广泛地用于半导体金属膜检测、工业生产线上的金属膜在线测量系统以及各种镀膜工艺的质量监控或检测等应用中。

说明：此专利共有两篇 

链接：1.https://www.ip.top/patentDetail?id=5bf7d0377094031a2182d832

      2.https://www.ip.top/patentDetail?id=5bf7d0377094031a2182d821